Model No: D37421000

Edwards iTIM E73/A1/T1 + シリアルツールインターフェイスモジュール、D37421000

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iTIM E73/A1/T1 + シリアル (シリアル通信付きツールインターフェースモジュール)，D37421000

iTIM (ツールインターフェイスモジュール) は、iH シリーズドライ真空ポンプシステム用に Edwards によって設計された制御および監視モジュールです。のD37421000モデルが追加するRS232シリアルインターフェースE73/A1/T1パラレルインターフェースに接続し、シリアル通信によるリモート制御や状態問い合わせが可能になります。ホストツール、SCADA システム、またはカスタム制御ソフトウェアとの統合に最適です。

主な特長

パラレルインターフェース制御– E73、A1、および T1 パラレル I/O インターフェイスを介して、開始/停止、バルブ制御、プロセスモード切り替えをサポートします。
RS232シリアル通信:
- ボーレート: 9600 bps
- データビット：8、ストップビット：1、パリティ：なし
- リモート監視および設定用のカスタムコマンド/クエリプロトコル
ゲートバルブ制御– 緊急シャットダウンをサポートする構成可能な開閉ロジック。
コントロールアービトレーション– 複数のモジュール間の制御ハンドオーバーをサポートします (例: PDT とリモートインターフェイス)。
シミュレーションモード– 実際のポンプの動作に影響を与えることなく、テストとトレーニングが可能になります。

対応機器

Edwards iH シリーズドライ真空ポンプシステム (iH80、iH600、iH1000) 用に設計されています。半導体、PECVD、LPCVD、プラズマエッチング、およびリモート監視と統合を必要とするその他のプロセス環境に適しています。

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