Edwards iH & iXH シリーズ ドライ真空ポンプ用交換用 LV クロー ローター – 高精度 5 爪エレメント コンポーネント

Edwards ドライ真空ポンプ用高性能 LV クロー ローター

半導体エッチング、PECVD、フラット パネル ディスプレイ製造、太陽電池製造などの過酷な産業用真空プロセスでは、内部ポンプ ローターは常に熱応力、腐食性ガス、および重い粒子負荷にさらされます。当社のプレミアム交換品エドワーズドライポンプクローローター元の機器の性能を満たすかそれを超えるように特別に機械加工されており、ポンプのメンテナンスとオーバーホールのためのコスト効率が高く、妥協のないソリューションを提供します。

主な機能と技術的なハイライト:

• 精密エンジニアリングと厳しい公差:高度な 5 軸 CNC 装置で加工され、±0.005 mm ～ ±0.01 mm の超厳密な寸法公差を実現します。これにより、ローター間の最適なクリアランスが確保され、高い体積効率と最大の到達真空レベルを維持しながら、バックリークを最小限に抑えます。

• プレミアム素材と表面処理:耐久性の高いダクタイル鋳鉄 (GGG50) または高級 SS316L ステンレス鋼から作られています。特殊な PTFE/PFA 防食コーティングまたはニッケルメッキを使用して、過酷なガス取り扱い環境での化学攻撃、プロセスガスの付着、早期摩耗を防止できます。

• ISO 1940 ダイナミックバランス:ひとつひとつLVクローローターエレメントISO 1940 G2.5 (または G1.0) 規格を満たすために、厳密な動的バランシングが行われます。これにより、高速での回転振動が排除され、ベアリングのストレスが軽減され、静かで信頼性の高い連続運転が保証されます。

• ドロップインの互換性:Edwards iH (iH80、iH160) および iXH シリーズ ドライ真空ポンプと正確に一致して設置できるように設計されています。直属の役を務める真空ポンプ交換スペアパーツこれにより、メンテナンス技術者は改造を必要とせずにオーバーホールを迅速に完了できます。