Model No: Stage 3 X3/Y3 Claw Rotor Set

Edwards iXH1820 iH160 건식 진공 펌프 예비 부품(X3 & Y3)용 3단계 X/Y 클로 로터 세트

정확한 OEM 사양에 맞게 설계된 이 고정밀 Edwards 건식 펌프 클로 로터 쌍은 iXH 및 iH 시리즈 펌프의 3단계 압축용으로 설계되었습니다. 프리미엄 SS316L 또는 맞춤형 부식 방지 코팅이 적용된 견고한 연성 철로 제조된 이 세트는 최대 최종 압력을 복원하기 위한 필수 진공 펌프 교체 예비 부품 역할을 합니다.

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Edwards 건식 진공 펌프용 고정밀 3단계 X/Y 클로 로터 세트

반도체 식각, PECVD, 평면 패널 디스플레이 생산, 태양전지 제조 등 까다로운 고진공 제조 공정에서는 완벽한 로터 간격을 유지하는 것이 진공 성능에 매우 중요합니다. 우리의 고정밀Edwards 건식 펌프 클로 로터세트(X3 & Y3)는 주요 펌프 정밀 검사 및 유지 관리 주기 동안 원활한 드롭인 교체를 위해 설계되었습니다.

주요 기술 하이라이트 및 기능:

5축 정밀 가공:고급 5축 CNC 장비로 가공하여 ±0.005mm ~ ±0.01mm 이내의 엄격한 치수 공차를 달성하고 가스 역류를 최소화하고 펌핑 효율성을 최대화합니다.
ISO 1940 동적 균형:각3단 X/Y 로터 세트ISO 1940 G2.5 표준에 따라 동적으로 균형을 유지하여 높은 작동 속도에서 매우 낮은 진동과 최소 베어링 응력을 보장합니다.
부식 방지 옵션:고밀도 연성철(GGG50) 또는 316L 스테인리스강으로 제공되며 선택적으로 PTFE/PFA 코팅이 적용되어 공격적인 공정 가스를 견딜 수 있습니다.
직접 OEM 맞춤:직접 장착형으로 제작됨진공 펌프 교체 예비 부품Edwards iXH(iXH1820, iXH6050) 및 iH(iH160, iH80) 시리즈 건식 진공 펌프용.