Model No: D37360330

Edwards 도구 인터페이스 전화 D37360330 마이크로 TIM

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Edwards 도구 인터페이스 TEL D37360330 마이크로 TIM 통신 모듈

제품 개요:
Edwards D373-60-330은 TEL 공정 도구와 함께 사용하기 위한 마이크로 도구 인터페이스 모듈(Micro TIM)입니다. 이 모듈을 사용하면 공정 도구에 연결된 병렬 인터페이스를 통해 작동을 제어하고 펌핑 시스템의 상태를 모니터링할 수 있습니다.
호환되는 Edwards 펌핑 시스템의 도구 인터페이스 슬롯에 설치된 경우 Micro TIM은 공정 도구와 펌핑 시스템 사이에 전기적 연결을 제공합니다.
주요 특징:
  • 도구 인터페이스:TEL 공정 도구의 경우25핀 'D형' 플러그커넥터.
  • 설치:호환되는 Edwards 펌핑 시스템의 도구 인터페이스 슬롯에 직접 삽입하도록 설계되었으며 캡티브 잠금 나사로 고정되어 있습니다.
  • 입력/출력:펌프 제어를 위한 무전압 접점 입력과 상태 모니터링을 위한 무전압 접점 출력을 제공합니다.
  • 구성 저장소:맞춤형 펌프 설정 매개변수를 저장할 수 있습니다. 활성화된 경우 이 기능은 Micro TIM이 새 펌프로 전송되는 경우 동일한 유형의 교체된 펌프를 자동으로 설정합니다.
  • 작동 온도 범위:+5 ~ 50°C
호환성:Micro TIM 인터페이스 슬롯이 장착된 Edwards 건식 펌핑 시스템과 함께 사용됩니다. 호환성을 확인하려면 펌프의 사용 설명서를 참조하십시오.
 
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