半導体プロセス用のドライ真空ポンプを選択する際の重要な考慮事項

ドライ真空ポンプの主な種類

1. 多段ポンプ (クロー、ツイン/トリプルローブ、ハイブリッド):このカテゴリには、ツイン/トリプル ローブ、クロー、ハイブリッド (ルーツ + クロー) ポンプなどの設計が含まれます。これらは同様の原理で動作します。つまり、ガスは複数の連続したチャンバーを通して繰り返し圧縮され、真空になります。
   • 特徴:これらの設計は、多くの場合、複雑な内部ガス経路を特徴としています。結露とプロセス副生成物の蓄積を防ぐには、通常、次のことが必要です。大量かつ継続的な窒素パージフロー希釈と分離の各段階で。内部圧縮はエネルギー効率の向上につながる可能性がありますが、多段階の圧縮プロセスによりポンプ内で望ましくない物理的反応または化学反応が発生するリスクも高まる可能性があります。
2. 単段スクリューポンプ:このタイプは、一対の回転スクリューによって作成される単一の圧縮チャンバーに依存します。圧縮方法に基づいてさらに分類されます。
   • 外部圧縮スクリューポンプ:等ピッチネジを採用し、内部の圧縮を最小限に抑えます。この結果、最短かつ最も単純なガス経路プロセスガスの滞留時間は最短です。主な利点は並外れたものですプロセスの安定性と堅牢性。最小限の窒素パージしか必要とせず (クリーン プロセスでは窒素パージが不要な場合もあります)、さまざまな用途にわたって優れた柔軟性を提供します。これには、比較的高いエネルギー消費が伴います。
   • 内部圧縮スクリューポンプ:不等ピッチねじを使用してポンプ内に圧縮を生じさせ、エネルギー効率を多段ポンプに匹敵するレベルまで向上させます。ただし、この内部圧縮により、多段階設計と同様に、副生成物形成のリスクが再び生じる可能性があります。

傾向と選択基準

結論

• もしエネルギー消費を最小限に抑えるが最も重要であり、窒素の使用はあまり懸念されないため、内部圧縮スクリュー ポンプが適している場合があります。
• 環境コストと運用コストが上昇するにつれて、窒素消費量の削減がますます重要になっています。
• 施設をお探しの方へ最大限のプロセス安定性、最小限のパージガス依存性、および多様なプロセスに対応するのに十分な多用途性を備えた単一ポンプタイプ多くの場合、外部圧縮スクリュー ポンプが最も堅牢で柔軟なソリューションを提供します。