Model No: D37421000

Edwards iTIM E73/A1/T1 + 직렬 도구 인터페이스 모듈, D37421000

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iTIM E73/A1/T1 + 직렬(직렬 통신 기능이 있는 도구 인터페이스 모듈),D37421000

iTIM(도구 인터페이스 모듈)은 Edwards가 iH 시리즈 건식 진공 펌핑 시스템용으로 설계한 제어 및 모니터링 모듈입니다. 그만큼D37421000모델은RS232 직렬 인터페이스E73/A1/T1 병렬 인터페이스에 연결하여 직렬 통신을 통해 원격 제어 및 상태 쿼리가 가능합니다. 호스트 도구, SCADA 시스템 또는 맞춤형 제어 소프트웨어와의 통합에 이상적입니다.

주요 특징

병렬 인터페이스 제어– E73, A1 및 T1 병렬 I/O 인터페이스를 통해 시작/중지, 밸브 제어 및 프로세스 모드 전환을 지원합니다.
RS232 직렬 통신:
- 전송 속도: 9600bps
- 데이터 비트: 8, 정지 비트: 1, 패리티: 없음
- 원격 모니터링 및 구성을 위한 사용자 정의 명령/쿼리 프로토콜
게이트 밸브 제어– 비상 정지 지원 기능을 갖춘 구성 가능한 개방/폐쇄 논리.
통제 중재– 여러 모듈(예: PDT 및 원격 인터페이스) 간의 제어 핸드오버를 지원합니다.
시뮬레이션 모드– 실제 펌프 작동에 영향을 주지 않고 테스트 및 교육이 가능합니다.

호환 장비

Edwards iH 시리즈 건식 진공 펌핑 시스템(iH80, iH600, iH1000)용으로 설계되었습니다. 원격 모니터링 및 통합이 필요한 반도체, PECVD, LPCVD, 플라즈마 식각 및 기타 공정 환경에 적합합니다.

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