Комплект кулачкового ротора Stage 3 X/Y для запасных частей сухого вакуумного насоса Edwards iXH1820 iH160 (X3 и Y3)
Комплект высокоточных кулачковых роторов Stage 3 X/Y для сухих вакуумных насосов Edwards
В сложных производственных процессах с высоким вакуумом, таких как травление полупроводников, PECVD, производство плоских дисплеев и изготовление солнечных элементов, поддержание идеальных зазоров ротора имеет решающее значение для производительности вакуума. Наши высокоточныекулачковый ротор сухого насоса EdwardsКомплект (X3 и Y3) предназначен для плавной замены во время капитального ремонта и циклов технического обслуживания насоса.
Основные технические характеристики и особенности:
5-осевая прецизионная обработка:Изготовлено на современном 5-осном оборудовании с ЧПУ для достижения строгих допусков на размеры в пределах от ±0,005 мм до ±0,01 мм, минимизации обратного потока газа и максимизации эффективности перекачки.
Динамический баланс ISO 1940:КаждыйКомплект роторов X/Y ступени 3динамически сбалансирован в соответствии со стандартами ISO 1940 G2.5, чтобы обеспечить сверхнизкую вибрацию и минимальную нагрузку на подшипники при высоких рабочих скоростях.
Коррозионностойкие варианты:Доступны из ковкого чугуна высокой плотности (GGG50) или нержавеющей стали 316L с дополнительными покрытиями из ПТФЭ/ПФА для защиты от агрессивных технологических газов.
Прямой OEM подходит:Построен как прямой кройзапасная часть для замены вакуумного насосадля сухих вакуумных насосов серий Edwards iXH (iXH1820, iXH6050) и iH (iH160, iH80).
Comprehensive score