مجموعة دوار المخلب X/Y للمرحلة 3 لقطع غيار مضخة التفريغ الجافة Edwards iXH1820 iH160 (X3 وY3)
مجموعة دوارة مخلب X/Y للمرحلة 3 عالية الدقة لمضخات التفريغ الجافة من Edwards
في عمليات التصنيع التي تتطلب قدرًا كبيرًا من الفراغ - مثل حفر أشباه الموصلات، وPECVD، وإنتاج شاشات العرض المسطحة، وتصنيع الخلايا الشمسية - يعد الحفاظ على خلوص الدوار المثالي أمرًا بالغ الأهمية لأداء الفراغ. لدينا دقة عاليةإدواردز مضخة مخلب الدوار الجافتم تصميم المجموعة (X3 وY3) للاستبدال السلس أثناء عمليات الإصلاح والصيانة الرئيسية للمضخة.
أبرز النقاط والميزات التقنية:
الآلات الدقيقة ذات 5 محاور:تم تصنيعه باستخدام معدات CNC ذات 5 محاور متقدمة لتحقيق تفاوتات صارمة في الأبعاد ضمن ±0.005 مم إلى ±0.01 مم، مما يقلل من التدفق الخلفي للغاز ويزيد من كفاءة الضخ.
التوازن الديناميكي ISO 1940:كلالمرحلة 3 مجموعة الدوار X/Yمتوازن ديناميكيًا وفقًا لمعايير ISO 1940 G2.5 لضمان اهتزاز منخفض للغاية والحد الأدنى من ضغط التحمل عند سرعات التشغيل العالية.
خيارات مقاومة للتآكل:متوفر في حديد الدكتايل عالي الكثافة (GGG50) أو الفولاذ المقاوم للصدأ 316L، مع طلاءات PTFE/PFA الاختيارية لتحمل غازات المعالجة القاسية.
تناسب OEM المباشر:تم تصميمه ليكون مناسبًا بشكل مباشرقطع غيار مضخة فراغلمضخات التفريغ الجاف من سلسلة Edwards iXH (iXH1820، iXH6050) وiH (iH160، iH80).
Comprehensive score