Subscribe to our Newsletter
Model No: Stage 3 X3/Y3 Claw Rotor Set
ステージ 3 X/Y クロー ローター セット Edwards iXH1820 iH160 ドライ真空ポンプ スペアパーツ (X3 & Y3)
正確な OEM 仕様に従って設計されたこの高精度 Edwards ドライ ポンプ クロー ローター ペアは、iXH および iH シリーズ ポンプの 3 段階圧縮用に設計されています。このセットは、カスタム防食コーティングを施した高級 SS316L または耐久性の高いダクタイル鋳鉄で製造されており、ピーク到達圧力を回復するための必須の真空ポンプ交換スペアパーツとして機能します。
数量 :
US $221.00
US $120.00
に
経由
UPS
配達予定日
3-14
Edwards ドライ真空ポンプ用高精度 Stage 3 X/Y クロー ローター セット
半導体エッチング、PECVD、フラットパネルディスプレイ製造、太陽電池製造などの要求の厳しい高真空製造プロセスでは、ローターのクリアランスを完璧に維持することが真空性能にとって重要です。当社の高精度エドワーズドライポンプクローローターセット (X3 および Y3) は、大規模なポンプのオーバーホールやメンテナンス サイクル中にシームレスにドロップイン交換できるように設計されています。
主な技術的ハイライトと機能:
5軸精密加工:高度な 5 軸 CNC 装置で加工され、±0.005mm ～ ±0.01mm 以内の厳密な寸法公差を実現し、ガスの逆流を最小限に抑え、ポンプ効率を最大化します。
ISO 1940 ダイナミックバランス:それぞれステージ 3 X/Y ローターセットISO 1940 G2.5 規格に合わせて動的バランスがとられており、高速動作時の超低振動と最小限のベアリング応力を保証します。
耐食性オプション:高密度ダクタイル鋳鉄 (GGG50) または 316L ステンレス鋼で利用可能で、オプションの PTFE/PFA コーティングにより、攻撃的なプロセスガスに耐えます。
直接 OEM フィット:ダイレクトフィットとして構築真空ポンプ交換スペアパーツEdwards iXH (iXH1820、iXH6050) および iH (iH160、iH80) シリーズ ドライ真空ポンプ用。
Comprehensive score