فهم تصنيفات أنواع أجهزة قياس الفراغ وقياسها

مقياس الفراغ هو أداة لقياس ضغط الغازات أو الأبخرة تحت الضغط الجوي. تحسب مقاييس الفراغ المطلق الضغط مباشرة من كمية فيزيائية مقاسة، في حين تتطلب مقاييس الفراغ النسبية معايرة مقابل معيار مطلق.

تكون العلاقة بين الظاهرة الفيزيائية والضغط أكثر وضوحًا ضمن نطاق محدد، يُعرف باسم "نطاق القياس" للمقياس. تتطلب تغطية ما يقرب من 19 طلبًا من الحجم (من 10⁵ نزولاً إلى 10⁻¹⁴ Pa) أنواعًا متعددة من أجهزة القياس، تم تحسين كل منها لمنطقة معينة. يمكن أن تؤدي هذه الضرورة إلى عدم اليقين في القياس عند الحدود المتداخلة بين التقنيات المختلفة. يكمن مفتاح تحسين الأداء في تعزيز تأثير القياس الأساسي مع قمع الإشارات الطفيلية.

يلخص الجدول التالي نطاقات الضغط النموذجية لأجهزة قياس الفراغ الشائعة:

أنواع أجهزة قياس الفراغ

اسم مقياس الفراغ	نطاق الضغط القابل للقياس (Pa)
مقياس الضغط على شكل حرف U (عطارد)	10⁵ – 10²
مقياس الضغط على شكل حرف U (الزيت)	10⁵ – 10²
مقياس ماكلويد	10³ – 10⁻³
مقياس الحجاب الحاجز (ميكانيكي)	10⁵ – 10²
مقياس الحجاب الحاجز (إلكتروني)	10⁵ – 10⁻³
مقاييس التوصيل الحراري
مقياس بيراني	10⁴ – 10⁻²
مقياس الحرارية	10² – 10⁻¹
مقياس الثرمستور	10² – 10⁻¹
مقاييس التأين
الكاثود الساخن (الصمام الثلاثي)	10⁻¹ – 10⁻⁵
نوع بايارد ألبرت (BA).	10⁻² – 10⁻⁸
الكاثود الساخن المغنطرون	10⁻⁵ – 10⁻¹⁰
مقياس الكاثود البارد	1 – 10⁻⁵
مقاييس نقل الزخم
مقياس اللزوجة	1 – 10⁻⁵
مقياس كنودسن	10⁻¹ – 10⁻⁵

إرشادات الاختيار:بالنسبة للضغوط العالية (10⁵ - 1 باسكال)، تكون المقاييس الميكانيكية مثل مقاييس الضغط على شكل حرف U أو مقاييس الحجاب الحاجز مناسبة. غالبًا ما يتم تغطية نطاق الفراغ الأوسط (10³ – 10⁻² Pa) بمقاييس التوصيل الحراري (Pirani، المزدوجة الحرارية). بالنسبة للفراغ العالي والفائق (أقل من 10⁻¹ Pa)، تصبح أجهزة قياس التأين المختلفة ضرورية. يعد فهم مبدأ التشغيل والقيود الخاصة بكل نوع أمرًا بالغ الأهمية لاختيار الأداة المناسبة لتطبيق معين وضمان قراءات دقيقة للضغط.

إخلاء المسؤولية: توفر هذه المقالة نظرة عامة على تصنيفات أجهزة قياس الفراغ ونطاقات القياس النموذجية لأغراض إعلامية. قد تختلف المواصفات حسب الشركة المصنعة والطراز. وليس المقصود منها تقديم المشورة الهندسية أو العلمية المهنية. بالنسبة للتطبيقات المهمة، راجع دائمًا وثائق الشركة المصنعة والمعايير ذات الصلة والموظفين الفنيين المؤهلين.

Inficon - مضخة التفريغ inficon، مقياس التفريغ inficon، الشركة المصنعة لأجزاء inficon - تقنية التحويم