헬륨 질량 분석기 누출 감지 이해: 기존 방법과 역류 방법 비교

1. 기존(직류) 방식
이는 고전적이고 가장 널리 사용되는 설정입니다. 테스트 중인 장치는 질량 분석계 튜브의 입구에 직접 연결됩니다. 누출을 통해 유입되는 헬륨 추적 가스가 흐릅니다.~와 함께시스템의 펌핑 방향을 측정을 위해 민감한 검출기로 직접 전달합니다. 이 방법을 사용하려면 시험편이 일반적으로 아래의 고진공 상태에 있어야 합니다.0.05파, 분광계 필라멘트의 손상을 방지하고 매우 작은 누출을 감지하기 위한 최적의 감도를 보장합니다.

2. 역류(역확산) 방식: 원리 및 장점
원리도에 표시된 것처럼 Counter-Flow 방식은 보다 발전되고 유연한 구성을 나타냅니다. 여기서 테스트 대상은 다음과 같이 연결됩니다.배기가스(또는 포어라인) 시스템 터보분자 펌프의 측면. 누출된 헬륨은 모두 이동해야 합니다.~에 맞서정상적인 펌핑 방향, 펌프를 통해 "역확산"하여 펌프 입구 측에 있는 질량 분석계 튜브에 도달합니다.

이 독창적인 디자인은압축비가스 질량에 따라 달라지는 터보분자 펌프. 펌프는 무거운 분자(진공 챔버 잔류물 등)에 대해서는 압축비가 매우 높지만 헬륨과 같은 가벼운 가스에 대해서는 압축비가 상당히 낮습니다. 이러한 물리적 특성을 통해 헬륨은 다른 가스에 대한 강력한 펌핑 작용을 유지하면서 효과적으로 역확산할 수 있습니다.

3. 역류 감지의 주요 장점 및 응용
Counter-Flow 방법은 다음과 같은 실질적인 이점을 제공합니다.