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Model No: D37420000
Edwards iTIM 도구 인터페이스 모듈 D37420000
iTIM E73/A1/T1 상태: 새로운
배달 :
EXW,FOB,FCA
리드 타임 :
3~7날
수량 :
US $418.00
US $120.00
에게
~을 통해
UPS
예상 배송일
3-14
Edwards iTIM 도구 인터페이스 모듈 D37420000
iTIM E73/A1/T1
iTIM은 Edwards iH 시리즈 건식 진공 펌프용 전용 인터페이스 모듈입니다. 이는 공정 도구와 펌프 간의 직접 제어 및 상태 모니터링을 위한 병렬 디지털 인터페이스를 제공합니다. 모듈은 컴팩트한 플러그 앤 플레이 설치를 위해 펌프 후면에 직접 장착됩니다.
주요 특징:
병렬 디지털 인터페이스: 다중 인터페이스 지원으로 공정 도구에 직접 연결 |
게이트 밸브 제어: 내장, 자동 및 비상운전 지원 |
설정점 저장: 레시피 매개변수 저장, 펌프 교체 후 자동 로드 |
간편한 장착: 2점 후면 장착, 도구가 필요 없는 설치 |
상태 출력: 운전, 경고, 경보 신호를 위한 다중 릴레이 출력 |
명세서
| 매개변수 | 값 |
| 작동 온도 | 0~55°C |
| 보관 온도 | -20~65°C |
| 무게 | 2kg |
| 인터페이스 유형 | 병렬 디지털 |
| 호환 가능한 펌프 | 에드워즈 iH80 / iH600 / iH1000 |
커넥터
- 시스템 커넥터: 15핀 D-Sub, 펌프에 연결
- 도구 인터페이스: A1 / E73 / T1 다중 사양 병렬 포트
- 게이트 밸브 커넥터: 9핀 CPC, 직접 밸브 제어
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