반도체 공정용 건식 진공 펌프 선택 시 주요 고려 사항

건식 진공 펌프의 주요 유형

1. 다단계 펌프(클로, 트윈/삼중 로브, 하이브리드):이 카테고리에는 트윈/트리플 로브, 클로 및 하이브리드(루트+클로) 펌프와 같은 디자인이 포함됩니다. 이들은 유사한 원리로 작동합니다. 가스는 여러 개의 연속 챔버를 통해 반복적으로 압축되어 진공을 달성합니다.
   • 형질:이러한 설계에는 복잡한 내부 가스 경로가 있는 경우가 많습니다. 응축 및 공정 부산물 축적을 방지하려면 일반적으로 다음이 필요합니다.중요하고 지속적인 질소 퍼지 흐름희석 및 분리를 위해 각 단계에서 내부 압축은 더 높은 에너지 효율성으로 이어질 수 있지만 다단계 압축 프로세스는 펌프 내에서 원치 않는 물리적 또는 화학적 반응의 위험을 증가시킬 수도 있습니다.
2. 단일 스테이지 스크류 펌프:이 유형은 한 쌍의 회전 나사로 생성된 단일 압축 챔버를 사용합니다. 압축 방법에 따라 더 세분화됩니다.
   • 외부 압축 스크류 펌프:등피치 나사를 사용하여 내부 압축을 최소화합니다. 이로 인해가장 짧고 간단한 가스 경로공정 가스의 체류 시간이 가장 낮습니다. 주요 이점은 예외적입니다.공정 안정성 및 견고성. 최소한의 질소 퍼지가 필요하며(청정 프로세스에서는 전혀 필요하지 않음) 다양한 응용 분야에 걸쳐 뛰어난 유연성을 제공합니다. 이는 상대적으로 더 높은 에너지 소비를 초래합니다.
   • 내부 압축 스크류 펌프:비균등 피치 나사를 사용하여 펌프 내에서 압축을 생성하여 다단계 펌프에 필적하는 수준으로 에너지 효율성을 향상시킵니다. 그러나 이러한 내부 압축은 다단계 설계와 유사하게 부산물 형성 위험을 다시 초래할 수 있습니다.

동향 및 선택 기준

결론

• 만약에에너지 소비 최소화가장 중요하고 질소 사용은 사소한 문제이므로 내부 압축 스크류 펌프가 적합할 수 있습니다.
• 환경 및 운영 비용이 증가함에 따라 질소 소비를 줄이는 것이 점점 더 중요해지고 있습니다.
• 시설을 찾으시는 분들을 위해최대 공정 안정성, 최소 퍼지 가스 의존도, 다양한 공정을 처리할 수 있는 다목적 단일 펌프 유형, 외부 압축 스크류 펌프는 종종 가장 강력하고 유연한 솔루션을 제공합니다.