Edwards iH 및 iXH 시리즈 건식 진공 펌프용 교체용 LV 클로 로터 - 고정밀 5-클로 요소 구성 요소

Edwards 건식 진공 펌프용 고성능 LV 클로 로터

반도체 식각, PECVD, 평면 패널 디스플레이 생산, 태양전지 제조와 같은 공격적인 산업 진공 공정에서 내부 펌프 로터는 열 응력, 부식성 가스 및 무거운 입자 부하에 지속적으로 노출됩니다. 우리의 프리미엄 대체품Edwards 건식 펌프 클로 로터원래 장비 성능을 충족하거나 초과하도록 특별히 가공되어 펌프 유지 관리 및 점검을 위한 비용 효율적이면서도 타협하지 않는 솔루션을 제공합니다.

주요 기능 및 기술 하이라이트:

• 정밀 엔지니어링 및 엄격한 공차:±0.005mm ~ ±0.01mm의 매우 엄격한 치수 공차를 달성하기 위해 고급 5축 CNC 장비로 가공되었습니다. 이는 최적의 로터 간 간격을 보장하고 역누설을 최소화하는 동시에 높은 체적 효율과 최대 최종 진공 수준을 유지합니다.

• 프리미엄 소재 및 표면 처리:견고한 연성주철(GGG50) 또는 고급 SS316L 스테인레스 스틸로 제작되었습니다. 열악한 가스 취급 환경에서 화학적 공격, 공정 가스 접착 및 조기 마모를 방지하기 위해 특수 PTFE/PFA 부식 방지 코팅 또는 니켈 도금을 사용할 수 있습니다.

• ISO 1940 동적 균형:하나하나LV 클로 로터 요소ISO 1940 G2.5(또는 G1.0) 표준을 충족하기 위해 엄격한 동적 밸런싱을 거칩니다. 이는 고속에서 회전 진동을 제거하고 베어링 응력을 줄이며 조용하고 안정적인 연속 작동을 보장합니다.

• 드롭인 호환성:Edwards iH(iH80, iH160) 및 iXH 시리즈 건식 진공 펌프와 정확히 일치하는 설치를 위해 설계되었습니다. 다이렉트 역할을 합니다.진공 펌프 교체 예비 부품, 유지 보수 기술자가 수정이 필요 없이 신속하게 정밀 검사를 완료할 수 있습니다.