진공 게이지 유형 분류 및 측정 이해

진공 게이지는 대기압 이하의 가스 또는 증기의 압력을 측정하는 도구입니다. 절대 진공 게이지는 측정된 물리량에서 직접 압력을 계산하는 반면 상대 진공 게이지는 절대 표준에 대한 교정이 필요합니다.

물리적 현상과 압력 사이의 관계는 게이지의 "측정 범위"라고 알려진 특정 범위 내에서 가장 두드러집니다. 약 19차수(10⁵에서 10⁻¹⁴ Pa까지)를 포괄하려면 각각 특정 지역에 최적화된 여러 게이지 유형이 필요합니다. 이러한 필요성은 서로 다른 기술 간의 중복되는 경계에서 측정 불확실성으로 이어질 수 있습니다. 성능 향상의 핵심은 기생 신호를 억제하면서 1차 측정 효과를 향상시키는 데 있습니다.

다음 표에는 일반적인 진공 게이지의 일반적인 압력 범위가 요약되어 있습니다.

진공 게이지 유형

진공 게이지 이름	측정 가능 압력 범위(Pa)
U자관 압력계(수은)	10⁵ – 10²
U자관 압력계(오일)	10⁵ – 10²
맥레오드 게이지	10³ – 10⁻³
다이어프램 게이지(기계식)	10⁵ – 10²
다이어프램 게이지(전자식)	10⁵ – 10⁻³
열전도율 게이지
피라니 게이지	10⁴ – 10⁻²
열전대 게이지	10² – 10⁻¹
서미스터 게이지	10² – 10⁻¹
이온화 게이지
열음극(3극관)	10⁻¹ – 10⁻⁵
베이야드-알퍼트(BA) 유형	10⁻² – 10⁻⁸
뜨거운 음극 마그네트론	10⁻⁵ – 10⁻¹⁰
냉음극 게이지	1 – 10⁻⁵
운동량 전달 게이지
점도 게이지	1 – 10⁻⁵
크누센 게이지	10⁻¹ – 10⁻⁵

선택 지침:더 높은 압력(10⁵ – 1 Pa)의 경우 U자형 압력계 또는 다이어프램 게이지와 같은 기계식 게이지가 적합합니다. 중간 진공 범위(10³ – 10⁻² Pa)는 열전도율 게이지(Pirani, 열전대)로 덮이는 경우가 많습니다. 고진공 및 초고진공(10⁻¹ Pa 미만)의 경우 다양한 이온화 게이지가 필수적입니다. 특정 응용 분야에 적합한 도구를 선택하고 정확한 압력 판독값을 보장하려면 각 유형의 작동 원리와 제한 사항을 이해하는 것이 중요합니다.

고지 사항: 이 문서에서는 정보 제공 목적으로 진공 게이지 분류 및 일반적인 측정 범위에 대한 일반적인 개요를 제공합니다. 사양은 제조업체 및 모델에 따라 다를 수 있습니다. 이는 전문적인 엔지니어링이나 과학적 조언을 위한 것이 아닙니다. 중요한 응용 분야의 경우 항상 제조업체의 문서, 관련 표준 및 자격을 갖춘 기술 담당자에게 문의하십시오.

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