Понимание классификации типов вакуумметров и их измерений

Вакуумметр – это прибор для измерения давления газов или паров ниже атмосферного давления. Абсолютные вакуумметры рассчитывают давление непосредственно на основе измеренной физической величины, тогда как относительные вакуумметры требуют калибровки по абсолютному стандарту.

Связь между физическим явлением и давлением наиболее выражена в определенном диапазоне, известном как «диапазон измерения» манометра. Для покрытия примерно 19 порядков величины (от 10⁵ до 10⁻¹⁴ Па) требуется несколько типов манометров, каждый из которых оптимизирован для определенного региона. Эта необходимость может привести к неопределенности измерений на перекрывающихся границах между различными технологиями. Ключом к улучшению производительности является усиление первичного эффекта измерения при одновременном подавлении паразитных сигналов.

В следующей таблице приведены типичные диапазоны давления для обычных вакуумметров:

Типы вакуумметров

Название вакуумметра	Измеримый диапазон давления (Па)
Манометр с U-образной трубкой (Ртуть)	10⁵ – 10²
Манометр с U-образной трубкой (масло)	10⁵ – 10²
Маклеод Калибр	10³ – 10⁻³
Мембранный манометр (механический)	10⁵ – 10²
Мембранный манометр (электронный)	10⁵ – 10⁻³
Датчики теплопроводности
Калибр Пирани	10⁴ – 10⁻²
Термопара Манометр	10² – 10⁻¹
Термисторный датчик	10² – 10⁻¹
Ионизационные датчики
Горячий катод (триод)	10⁻¹ – 10⁻⁵
Тип Баярда-Альперта (BA)	10⁻² – 10⁻⁸
Магнетрон с горячим катодом	10⁻⁵ – 10⁻¹⁰
Датчик с холодным катодом	1 – 10⁻⁵
Датчики передачи импульса
Датчик вязкости	1 – 10⁻⁵
Датчик Кнудсена	10⁻¹ – 10⁻⁵

Руководство по выбору:Для более высоких давлений (10⁵ – 1 Па) подходят механические манометры, такие как манометры с U-образной трубкой или мембранные манометры. Средний диапазон вакуума (10³ – 10⁻² Па) часто перекрывается датчиками теплопроводности (Пирани, термопара). Для высокого и сверхвысокого вакуума (ниже 10⁻¹ Па) необходимы различные ионизационные датчики. Понимание принципа работы и ограничений каждого типа имеет решающее значение для выбора правильного инструмента для конкретного применения и обеспечения точных показаний давления.

Отказ от ответственности: В этой статье в информационных целях представлен общий обзор классификаций вакуумметров и типичных диапазонов измерений. Технические характеристики могут различаться в зависимости от производителя и модели. Он не предназначен для использования в качестве профессиональных инженерных или научных рекомендаций. Для критически важных применений всегда обращайтесь к документации производителя, соответствующим стандартам и квалифицированному техническому персоналу.

Inficon - вакуумный насос inficon , вакуумметр inficon , производитель запчастей inficon – Hover Technology