ข้อควรพิจารณาที่สำคัญในการเลือกปั๊มสุญญากาศแบบแห้งสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์

ประเภทหลักของปั๊มสุญญากาศแบบแห้ง

1. ปั๊มหลายใบพัด (Claw, Twin/Triple Lobe, ไฮบริด):หมวดหมู่นี้รวมถึงการออกแบบ เช่น ปั๊มกลีบคู่/สามกลีบ ก้ามปู และปั๊มไฮบริด (ราก+ก้าม) โดยทำงานบนหลักการที่คล้ายกัน: ก๊าซถูกบีบอัดซ้ำๆ ผ่านช่องต่างๆ ตามลำดับเพื่อให้ได้สุญญากาศ
   • ลักษณะเฉพาะ:การออกแบบเหล่านี้มักมีทางเดินก๊าซภายในที่ซับซ้อน โดยทั่วไปแล้วจะต้องมีการป้องกันการควบแน่นและการสะสมผลพลอยได้จากกระบวนการการไหลของไนโตรเจนอย่างมีนัยสำคัญและต่อเนื่องในแต่ละขั้นตอนเพื่อการเจือจางและการแยกตัว แม้ว่าการบีบอัดภายในสามารถนำไปสู่ประสิทธิภาพการใช้พลังงานที่สูงขึ้น แต่กระบวนการบีบอัดแบบหลายขั้นตอนยังสามารถเพิ่มความเสี่ยงของปฏิกิริยาทางกายภาพหรือทางเคมีที่ไม่พึงประสงค์ภายในปั๊มได้อีกด้วย
2. ปั๊มสกรูแบบขั้นตอนเดียว:ประเภทนี้อาศัยห้องอัดเดียวที่สร้างขึ้นโดยสกรูหมุนคู่หนึ่ง แบ่งตามวิธีการบีบอัดเพิ่มเติม:
   • ปั๊มสกรูอัดภายนอก:ใช้สกรูที่มีระยะพิทช์เท่ากัน เพื่อลดการบีบอัดภายใน ซึ่งส่งผลให้เส้นทางก๊าซที่สั้นที่สุดและง่ายที่สุดและเวลาคงอยู่ต่ำสุดสำหรับก๊าซในกระบวนการ ข้อได้เปรียบหลักนั้นยอดเยี่ยมมากความเสถียรและความทนทานของกระบวนการ- พวกเขาต้องการการไล่ไนโตรเจนเพียงเล็กน้อย (บางครั้งก็ไม่ต้องเลยในกระบวนการที่สะอาด) ทำให้มีความยืดหยุ่นสูงในการใช้งานต่างๆ สิ่งนี้มาพร้อมกับต้นทุนการใช้พลังงานที่ค่อนข้างสูง
   • ปั๊มสกรูอัดภายใน:ใช้สกรูที่มีระยะพิทช์ไม่เท่ากันเพื่อสร้างแรงอัดภายในปั๊ม ซึ่งช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพการใช้พลังงานให้อยู่ในระดับที่เทียบเคียงได้กับปั๊มแบบหลายใบพัด อย่างไรก็ตาม การบีบอัดภายในนี้สามารถลดความเสี่ยงของการเกิดผลพลอยได้อีกครั้ง คล้ายกับการออกแบบหลายขั้นตอน

แนวโน้มและเกณฑ์การคัดเลือก

บทสรุป

• ถ้าลดการใช้พลังงานเป็นสิ่งสำคัญยิ่งและการใช้ไนโตรเจนก็เป็นข้อกังวลเล็กน้อย ปั๊มสกรูแบบบีบอัดภายในอาจเหมาะสม
• เมื่อต้นทุนด้านสิ่งแวดล้อมและการดำเนินงานเพิ่มขึ้น การลดการใช้ไนโตรเจนจึงมีความสำคัญมากขึ้น
• สำหรับการแสวงหาสิ่งอำนวยความสะดวกความเสถียรของกระบวนการสูงสุด การพึ่งพาก๊าซชะล้างน้อยที่สุด และปั๊มประเภทเดียวที่อเนกประสงค์เพียงพอที่จะรองรับกระบวนการที่หลากหลายปั๊มสกรูอัดภายนอกมักจะนำเสนอโซลูชันที่แข็งแกร่งและยืดหยุ่นที่สุด