ทำความเข้าใจการจำแนกประเภทเกจสุญญากาศและการวัด

ผู้เขียน: Hover Technology

2025-12-22

เกจสุญญากาศเป็นเครื่องมือสำหรับวัดความดันของก๊าซหรือไอระเหยที่ต่ำกว่าความดันบรรยากาศ เกจวัดสุญญากาศสัมบูรณ์จะคำนวณความดันโดยตรงจากปริมาณทางกายภาพที่วัดได้ ในขณะที่เกจวัดสุญญากาศสัมพัทธ์จำเป็นต้องมีการสอบเทียบตามมาตรฐานสัมบูรณ์

ความสัมพันธ์ระหว่างปรากฏการณ์ทางกายภาพกับความดันจะเด่นชัดที่สุดภายในช่วงเฉพาะที่เรียกว่า "ช่วงการวัด" ของเกจ การครอบคลุมขนาดประมาณ 19 อันดับ (ตั้งแต่ 10⁵ ลงไปถึง 10⁻¹⁴ Pa) ต้องใช้เกจหลายประเภท โดยแต่ละประเภทได้รับการปรับให้เหมาะสมสำหรับภูมิภาคเฉพาะ ความจำเป็นนี้สามารถนำไปสู่ความไม่แน่นอนในการวัดที่ขอบเขตที่ทับซ้อนกันระหว่างเทคโนโลยีต่างๆ กุญแจสำคัญในการปรับปรุงประสิทธิภาพอยู่ที่การเพิ่มผลการวัดหลักในขณะที่ระงับสัญญาณปรสิต

ตารางต่อไปนี้สรุปช่วงความดันทั่วไปสำหรับเกจวัดสุญญากาศทั่วไป:

ประเภทเกจวัดสุญญากาศ

ชื่อเกจวัดสุญญากาศ	ช่วงความดันที่วัดได้ (Pa)
มาโนมิเตอร์แบบ U-tube (ปรอท)	10⁵ – 10²
มาโนมิเตอร์แบบท่อรูปตัวยู (น้ำมัน)	10⁵ – 10²
แมคลอยด์ เกจ	10³ – 10⁻³
ไดอะแฟรมเกจ (เครื่องกล)	10⁵ – 10²
เกจวัดไดอะแฟรม (อิเล็กทรอนิกส์)	10⁵ – 10⁻³
เกจวัดค่าการนำความร้อน
เกจ์วัดปิรานี	10⁴ – 10⁻²
เกจวัดเทอร์โมคัปเปิล	10² – 10⁻¹
เทอร์มิสเตอร์เกจ	10² – 10⁻¹
เกจวัดไอออนไนซ์
แคโทดร้อน (ไตรโอด)	10⁻¹ – 10⁻⁵
ประเภทเบยาร์ด-อัลเพิร์ต (BA)	10⁻² – 10⁻⁸
แมกนีตรอนแคโทดร้อน	10⁻⁵ – 10⁻¹⁰
เกจแคโทดเย็น	1 – 10⁻⁵
เกจวัดการถ่ายโอนโมเมนตัม
เครื่องวัดความหนืด	1 – 10⁻⁵
คนุดเซ่น เกจ	10⁻¹ – 10⁻⁵

คำแนะนำในการคัดเลือก:สำหรับแรงดันที่สูงขึ้น (10⁵ – 1 Pa) เกจเชิงกล เช่น มาโนมิเตอร์แบบท่อรูปตัว U หรือเกจไดอะแฟรมจะเหมาะสม ช่วงสุญญากาศตรงกลาง (10³ – 10⁻² Pa) มักถูกปิดด้วยเกจวัดค่าการนำความร้อน (Pirani, เทอร์โมคัปเปิล) สำหรับสุญญากาศสูงและสูงพิเศษ (ต่ำกว่า 10⁻¹ Pa) เกจไอออไนเซชันต่างๆ จึงมีความจำเป็น การทำความเข้าใจหลักการทำงานและข้อจำกัดของแต่ละประเภทถือเป็นสิ่งสำคัญในการเลือกเครื่องมือที่เหมาะสมสำหรับการใช้งานเฉพาะ และรับประกันการอ่านค่าแรงดันที่แม่นยำ

ข้อสงวนสิทธิ์: บทความนี้จะให้ภาพรวมทั่วไปของการจำแนกประเภทเกจสุญญากาศและช่วงการวัดโดยทั่วไปเพื่อวัตถุประสงค์ในการให้ข้อมูล ข้อมูลจำเพาะอาจแตกต่างกันไปตามผู้ผลิตและรุ่น ไม่ได้มีจุดมุ่งหมายเพื่อเป็นคำแนะนำทางวิศวกรรมวิชาชีพหรือทางวิทยาศาสตร์ สำหรับการใช้งานที่สำคัญ โปรดอ่านเอกสารประกอบของผู้ผลิต มาตรฐานที่เกี่ยวข้อง และบุคลากรทางเทคนิคที่ผ่านการรับรองเสมอ

Inficon - ปั๊มสุญญากาศ inficon , เกจวัดสุญญากาศ inficon , ผู้ผลิตชิ้นส่วน inficon – Hover Technology

ประเภททั่วไปของหน้าซีลหน้าแปลนและการใช้งาน

บทบาทที่สำคัญของเครื่องเป่าลมในวาล์วควบคุม: การเลือก การใช้งาน และแนวทางปฏิบัติที่ดีที่สุด

บทความที่เกี่ยวข้อง