โรเตอร์ปั๊มแห้งซีรีส์ IXH

กลุ่มผลิตภัณฑ์ปั๊มแห้ง Edwards iXH กำหนดมาตรฐานใหม่สำหรับความสามารถของกระบวนการที่รุนแรง ความน่าเชื่อถือ และต้นทุนการเป็นเจ้าของที่ต่ำลง ออกแบบมาเพื่อสภาพแวดล้อมสุญญากาศที่ยากลำบากที่สุด ปั๊ม iXH มีจำหน่ายเป็นปั๊มหลักแบบสแตนด์อโลน iXH100 ที่มีความเร็วสูงสุด 100 ลบ.ม./ชม. หรือเป็นปั๊มและบูสเตอร์รวมกันพร้อมบูสเตอร์ที่ขับเคลื่อนด้วยอินเวอร์เตอร์ ซึ่งให้ความเร็วสูงสุด 665 ลบ.ม./ชม. (iXH610) และ 1025 ลบ.ม./ชม. (iXH1210) iXH MK2 รุ่นต่อมาขยายกลุ่มผลิตภัณฑ์ได้สูงสุดถึง 5200 m³/ชม. โดยมอบโซลูชันสำหรับเครื่องมือในกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่ใหญ่ที่สุด

2. เทคโนโลยีคอร์โรเตอร์

หัวใจสำคัญของปั๊ม iXH คือการออกแบบโรเตอร์ก้ามปูแบบกลับด้านที่ล้ำสมัย กลไกการปั๊มแบบแห้งแบบหลายขั้นตอนนี้ทำงานโดยปราศจากน้ำมันในห้องสุญญากาศ ทำให้เกิดสุญญากาศที่ปราศจากไฮโดรคาร์บอนที่สะอาด และลดความเสี่ยงของการปนเปื้อนในกระบวนการและการสตรีมน้ำมันย้อนกลับ โครงสร้างกรงเล็บแบบกลับด้านให้การทำงานที่ปราศจากการกัดกร่อนและความสามารถในการจัดการฝุ่นและผงที่แข็งแกร่ง ในขณะที่ชุดโรเตอร์ที่สมดุลไดนามิกซึ่งกลึงด้วยเครื่องจักรอย่างแม่นยำช่วยให้มั่นใจได้ถึงการทำงานที่ราบรื่น การสั่นสะเทือนต่ำ และอายุการใช้งานที่ยาวนานขึ้น

3. วัสดุและโลหะวิทยา

เพื่อความอยู่รอดจากกระบวนการเคมีที่รุนแรง ปั๊ม iXH ใช้โลหะวิทยาขั้นสูงตลอดทั้งส่วนประกอบที่เปียก: LPC พร้อมการบำบัดอะเซทิลีน การเชื่อมลำแสงพลาสมา การเผาผนึกสุญญากาศ MIM และการหล่อแบบลงทุน กระบวนการเหล่านี้ส่งมอบส่วนประกอบที่มีความแข็งแรงสูง ทนทานต่อการกัดกร่อนที่เหนือกว่า และมีเสถียรภาพในมิติในระยะยาว ช่วยให้ปั๊มทำงานได้อย่างน่าเชื่อถือในสภาพแวดล้อมของก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อน

4. ความสามารถของกระบวนการสำหรับการใช้งานที่รุนแรง

กลุ่มผลิตภัณฑ์ iXH ได้รับการปรับให้เหมาะสมเป็นพิเศษสำหรับกระบวนการที่ปั๊มแห้งแบบทั่วไปเกิดข้อผิดพลาดตั้งแต่เนิ่นๆ: ALD และ CVD TiN โดยใช้ TiCl₄, ALD SiN โดยใช้ DCS หรือ HCD, ALD SiO₂ ที่ใช้ HCD, LPCVD ซิลิคอนจาก Si₂H₆, LPCVD ซิลิคอนไนไตรด์, ไดอิเล็กทริก PECVD, ฟิล์ม k ต่ำ, SACVD, เอพิแทกซี และ GaN ช่วงอุณหภูมิปั๊มที่กว้างช่วยให้เกิดการปรับให้เหมาะสมเพื่อลดการสะสมผลพลอยได้จากการควบแน่นและปฏิกิริยาการชุบ เทคโนโลยีซีลปั๊มที่เป็นนวัตกรรมใหม่ช่วยยืดอายุการใช้งานของกระบวนการและลดความเสี่ยงในการรั่วซึม ในขณะที่ความสามารถในการจัดการผงที่เพิ่มขึ้นอย่างมากจะถูกส่งผ่านเทคโนโลยี Gas Buster ที่เป็นนวัตกรรมใหม่

5. คุณสมบัติและคุณประโยชน์

iXH รวมตัวควบคุมในตัวและระบบความปลอดภัยสำหรับการทำงานของปลั๊กและปั๊มเข้ากับการกำหนดค่าที่ยืดหยุ่น ใช้งานได้กับเทคโนโลยี Xcede เพื่อเพิ่มความต้านทานการกัดกร่อน และโมดูลก๊าซ Varimode ใหม่ให้การส่งก๊าซกำจัดที่เหมาะสมที่สุด โหมดสีเขียวช่วยลดการใช้พลังงานให้เหลือเพียง 0.05 กิโลวัตต์ที่แรงดันสูงสุด ลดผลกระทบต่อสิ่งแวดล้อมและต้นทุนการดำเนินงาน ต้นทุนการติดตั้งต่ำ ความน่าเชื่อถือที่แข็งแกร่ง และระยะเวลาการบำรุงรักษาที่ยาวนาน ส่งผลให้มีต้นทุนรวมในการเป็นเจ้าของที่โดดเด่น

6. การใช้งาน

กระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ รวมถึง PECVD, ALD, LPCVD, การกัดและการฝังไอออน จอแบนและการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์ การอบแห้งเฟสไอของหม้อแปลงไฟฟ้า การเคลือบม้วนและแผ่นใย, การเคลือบแข็ง CVD, การกระตุ้นพื้นผิวและการพ่นพลาสมา; และกระบวนการสุญญากาศทางอุตสาหกรรมอื่นๆ ที่ต้องการสุญญากาศที่สะอาดและปราศจากน้ำมัน ซึ่งมีความทนทานต่อผง สารควบแน่น และก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนสูง