Lower Stage Shaft Component X/Y ชุดสำหรับ Edwards iXH1210 iXH1220 iXH1820 iXH1820H แห้งปั๊มสูญญากาศ

ความแม่นยำเชิงวิศวกรรมสำหรับปั๊มสุญญากาศแบบแห้ง Edwards iXH Series

ในสภาพแวดล้อมการผลิตที่มีสุญญากาศสูงและสะอาดเป็นพิเศษขั้นสูง เช่น การกัดแผ่นเวเฟอร์ของเซมิคอนดักเตอร์, PECVD, การผลิตจอแบน (FPD), การผลิตเซลล์แสงอาทิตย์ และการแปรรูปทางเคมี ส่วนประกอบสูญญากาศภายในต้องเผชิญกับสภาวะการทำงานที่หนักหน่วง การรักษาเสถียรภาพของโครงสร้างที่สมบูรณ์ ระยะห่างของโรเตอร์ที่แน่นอน และความสมดุลไดนามิกสูงในเพลาขับถือเป็นสิ่งสำคัญในการป้องกันการยึดปั๊มและการหยุดทำงานซึ่งมีค่าใช้จ่ายสูง งานหนักของเราEdwards เพลาล่างปั๊มแห้งชุด (X-Shaft และ Y-Shaft) ได้รับการผลิตเพื่อให้ตรงกับโปรไฟล์ทางเรขาคณิตของผู้ผลิตอุปกรณ์ดั้งเดิม (OEM) ให้ความแข็งแรงเชิงกลสูงสุดและการติดตั้งแบบหล่นลงอย่างราบรื่นระหว่างการสร้างปั๊มใหม่และบริการบำรุงรักษา

คุณสมบัติทางเทคนิคที่สำคัญและมาตรฐานการผลิต

• โลหะวิทยาคุณภาพสูงและการบำบัดความร้อน:กลึงอย่างแม่นยำจากเหล็กโลหะผสมความแข็งแรงสูงระดับพรีเมียม (หรือตัวเลือกสแตนเลส 17-4PH / 316L แบบกำหนดเอง) ผ่านการชุบแข็งด้วยการเหนี่ยวนำขั้นสูงและการบำบัดความร้อนแบบบรรเทาความเครียดเพื่อให้เกิดความต้านทานต่อความล้าจากแรงบิดที่เหนือกว่า ป้องกันการเปลี่ยนรูปเพลาแม้ภายใต้ภาระความร้อนสูงและความเครียดจากการบีบอัดก๊าซจำนวนมาก

• ความคลาดเคลื่อนของเครื่องจักร CNC ที่แน่นเป็นพิเศษ:ผลิตบนเครื่องเจียร CNC แบบหลายแกนเพื่อรักษาความคลาดเคลื่อนของมิติที่แม่นยำภายใน±0.005 มม. ระยะห่างที่แคบเป็นพิเศษนี้ช่วยให้มั่นใจได้ถึงการซิงโครไนซ์ที่แม่นยำระหว่างไดรฟ์และเพลาขับเคลื่อน กำจัดฟันเฟืองเชิงกล ลดการหมุนเวียนภายในของก๊าซ และฟื้นฟูประสิทธิภาพสุญญากาศขั้นสูงสุด

• ISO 1940 เกรด G2.5 การปรับสมดุลแบบไดนามิก:แต่ละส่วนประกอบเพลาขั้นล่างผ่านการปรับสมดุลไดนามิกระนาบคู่ที่เข้มงวดเพื่อให้เป็นไปตามมาตรฐาน ISO 1940 G2.5 การขจัดการสั่นสะเทือนในการหมุนด้วยความเร็วสูงจะช่วยลดความเค้นในแนวรัศมีของแบริ่งและซีลเชิงกล ส่งผลให้การทำงานเงียบอย่างต่อเนื่องและยืดเวลาเฉลี่ยระหว่างความล้มเหลว (MTBF)

• กระบวนการป้องกันแก๊สและการกัดกร่อน:การรักษาพื้นผิวป้องกันการกัดกร่อนแบบพิเศษ (รวมถึงการเคลือบ PTFE/PFA ซึ่งเป็นตัวเลือก การชุบนิกเกิล หรือไนไตรด์) มีไว้เพื่อปกป้องพื้นผิวเพลาภายในจากกระบวนการทางเคมีที่รุนแรง ก๊าซฮาไลด์ และการสะสมของอนุภาคทั่วไปในสภาพแวดล้อมการจำหลักเซมิคอนดักเตอร์/CVD ที่รุนแรง

• OEM โดยตรงสำหรับการยกเครื่อง:ออกแบบมาให้ใช้งานได้เต็มรูปแบบแบบพลักแอนด์เพลย์อะไหล่ทดแทนปั๊มสุญญากาศสำหรับ Edwards iXH1210, iXH1220, iXH1820 และ iXH1820H ปั๊มแห้งขั้นตอนล่าง ช่างเทคนิคบริการสามารถทำการเปลี่ยนเพลาได้อย่างรวดเร็วและไร้กังวล โดยไม่ต้องอาศัยการตัดเฉือนแบบกำหนดเองเพิ่มเติมหรือการปรับเปลี่ยนเพลา

การใช้งานทั่วไป

• การกัดและการสะสมเวเฟอร์ของเซมิคอนดักเตอร์ (CVD / PECVD / ALD)

• สายการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์พลังงานแสงอาทิตย์

• ระบบเคลือบสุญญากาศจอแบน (FPD)

• การวิจัยและพัฒนาทางอุตสาหกรรมและการแยกห้องสุญญากาศสูง